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王曦:填补我国大尺寸硅片产业空白

日期:2018年4月3日 14:05:00 文字 【 】【增加行距】【缩小行距】【加粗】【高亮】【还原

王曦,中国科学院院士,中共党员,中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长、著名材料学家,我国高端集成电路衬底材料的主要开拓者和领军人物。长期致力于载能离子束与固体相互作用物理现象研究,并将其应用于SOI的开发。王曦院士大力推动了全国和上海一大批极大规模集成电路重大项目,其中12英寸集成电路硅片项目填补了我国大尺寸硅片产业空白。

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“做科学家,必须把自己的研究与国家的战略需要联系起来,布大局,做大事。”这是王曦经常挂在嘴边的一句话。

从开发SOI解决我国急需的航天电子器件的“有无”,到完成12英寸集成电路硅片项目、填补我国大尺寸硅片产业空白,王曦是微电子材料的“弄潮儿”。

近年来,王曦院士先后获得国家科技进步一等奖、上海市科技进步一等奖、中国科学院杰出科技成就奖……他还曾“一次性评选过关”,成为“当年最年轻的中科院院士”。同事好友对王曦此次评为上海市科技功臣奖,都说实至名归。

有创新精神的科学家

1983年,王曦考入清华大学,从那时起,他就在载能离子束领域耕耘不辍。那时,一种名叫绝缘体上硅(SOI)的技术被IBM公司商业化,广泛用于超速计算机服务器中。这在国际上被公认为“21世纪的硅集成电路技术”,在低压低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面有着重要应用,在国内却因遭遇技术封锁鲜为人知。1998年回国的王曦承担起了研究SOI技术的领军重任。

“SOI有很多应用,在航天器的元器件上尤为突出。在我国没掌握SOI技术的时候,只能采用加厚铅板这种‘治标不治本’的方法来应对辐射。”王曦说。然而,卫星每增加一点重量,成本就会大幅提升。“那时我们卫星少,寿命也短。”想要一劳永逸解决这一难题,SOI的研发势在必行。

SOI走出论文、走出实验室的每一步,都凝聚着王曦团队的汗水。2001年7月,王曦创建了我国唯一的SOI材料研发和生产基地——上海新傲科技股份有限公司。仅用5个多月的时间,就建成了国内第一条具有国际先进水平的SOI生产线。次年7月,第一批光润无瑕、晶莹剔透的SOI晶圆材料问世。世界惊呼,中国“突然”出现了一个现代化的SOI工厂。

在创新路上,王曦的脚步从未停下。作为国家科技重大专项02专项技术副总师,王曦大力推动了全国和上海一批集成电路重大项目,其中12寸集成电路硅片项目填补了我国大尺寸硅片的产业空白。

有战略眼光的实干家

在推进国家集成电路重大项目的过程中,王曦清楚地认识到,我国目前在世界级集成电路研发机构建设上与国外差距较大,产业创新能力不强,难以产出有核心竞争力的技术与产品。2012年,王曦向市领导递交了MtM计划,希望通过借鉴国外实验室的创新模式,推动中国集成电路研发机构对产业的作用。次年,上海微技术工业研究院在嘉定注册成立,以企业化运作打造功能性平台。这一跨越产研“鸿沟”的平台成为上海全球科创中心“四梁八柱”之一。去年9月,国内首条全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线正式运营。由上海微技术工业研究院构建的这条中试线,旨在打通从研发到小批量生产的超越摩尔产业生态链布局,助攻创新研发。

当老牌的法国Soitec公司主要向格芯等芯片制造公司提供SOI时,王曦已把目光投向汽车电子、传感器等SOI硅片的新应用领域。2014年,王曦再次提出,希望发展12英寸硅片。当时在外界看来,这是个“吃力不讨好”的活儿,王曦自己也为5亿元的融资“跑断了腿”。时过境迁,现今全球硅片紧张,硅片价格一涨再涨,当时冒险的决定已经变成了正确的选择。未来,王曦希望与世界一流技术接轨,早日进入全球第一方阵。

富有情怀的领导者

去年9月26日,张江实验室成立,开启了上海科创中心建设的崭新篇章。王曦院士担任张江实验室主任。在他心里,一直有一个梦想,让科学家在一个平台上心无旁骛做科研,不用为争取项目而分心。

张江实验室给了王曦实现这个梦想的机会,然而,落在王曦身上的担子可不轻。在5个多月的时间里,张江实验室在大科学设施群建设、体制机制创新、创新合作网络构建等方面取得了不少突破。现在,王曦上紧了发条,他正进一步完善张江实验室的组建方案,争取首批获批列入国家实验室行列。近日,张江实验室与法国国家实验室签约,其发展步入“快车道”。

采访中,王曦多次提到,真正的高科技项目要实现产业化,离不开科学家的参与。“实验室的成功和一项技术的应用之间不能画等号。希望未来能够更多用市场化的规则来解决国家战略需求。”

来源:《新民晚报》


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